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超小型粒子計數器

更新時(shí)間:2024-06-19

儀器型號:加野Kanomax 3950

簡(jiǎn)要描述:

加野Kanomax 3950 超小型粒子計數器

重視可視性,大畫(huà)面,觸摸屏顯示器,可在附帶軟件上顯示測試數據
雙通道: 0.1um0.3um
額定流量:2.83min
通過(guò)實(shí)現超小型化設計,使粒子計數器嵌入裝置設備成為可
0.1 um測量
4.3英寸彩色液晶
標配RS-485,Ethernet,USB
小型化!重量大幅度輕量化
以往的尺寸很難嵌入組裝在半導體制造等裝置中,
本產(chǎn)品通過(guò)壓倒性的小型

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加野Kanomax 3950 超小型粒子計數器

重視可視性,大畫(huà)面,觸摸屏顯示器,可在附帶軟件上顯示測試數據

雙通道: 0.1um0.3um

額定流量:2.83min

通過(guò)實(shí)現超小型化設計,使粒子計數器嵌入裝置設備成為可

0.1 um測量

4.3英寸彩色液晶

標配RS-485,Ethernet,USB

小型化!重量大幅度輕量化

以往的尺寸很難嵌入組裝在半導體制造等裝置中,

本產(chǎn)品通過(guò)壓倒性的小型化,使傳感器嵌入設備中使用變?yōu)楹?jiǎn)便易行。



應用范圍

作為傳感器嵌入到設備裝置中

潔凈室的清潔度管理

高清潔度區域的管理


加野Kanomax 3950 超小型粒子計數器


測試方法光散亂

粒徑區分2粒徑(0.1,0.3um)

額定流量0.1CFM(2.83L/分)精度士(符合JIS B9921 和 1$021501-4)

測量時(shí)間6秒~99分59秒(1次測量時(shí)間)

間隔時(shí)間6秒~99分59秒(測量周期)

采樣次數1~999回或 連續測試

地點(diǎn)區分99個(gè)地點(diǎn)

測量格式重復,單次,連續,計算,1S0,GB*(共6種模式)

測量數據顯示時(shí)間1~10秒

測量數據顯示計數累計值三,超過(guò)設定設定值時(shí)蜂鳥(niǎo)器報警

zui大可測濃度10,000,000個(gè)m

計數效率50土20%(相對于zui小可測粒徑附近的標準粒子)

100士108(相對于zui小可測粒徑的1.5倍-2倍的PSL粒子)

(符合JIS B9921和1S021501-4)

偽計數1/35min 以下

粒徑分解能15%以下(相對0.3um的PSL粒子)

(符合JIS B9921和 IS021501-4)

采樣源自帶泵

顯示器4.3英寸彩色液品,觸摸屏顯示器

記錄媒體本體:USB(Host可對于打印機,USB內存使用,、Device可對于鏈接PC使用)Ethernet.RS485(9600,19200,38400 baud)

媒體:內存

記錄數、格式:zui大10,000個(gè),CSV格式

顯示語(yǔ)言英語(yǔ),日語(yǔ)

電源AC 100~240 V

使用環(huán)境15~35'C,0~85%RH(無(wú)冷凝)

外形尺寸W150 X H163 X D228 mm

重量3.4kg


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深圳市偉峰儀器儀表有限公司

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